安全门开关
槽型传感器
光电传感器
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光幕传感器
光纤传感器
激光雷达
高精度定位平台
有铁芯HL1系列
有铁芯HL2系列
有铁芯HL3系列
有铁芯HL3A系列
有铁芯HL8系列
无铁芯HLU系列
直线电机模组
轴向磁场DD马达
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脆性材料切割平台,采用大理石龙门结构设计，刚性好，稳定性高。可以应用在激光加工设备、光学定位扫描检测设备和半导体加工设备中。
X轴、Y轴重复定位精度为±1um，定位精度为±1.5um;X轴有效行程860mm，Y轴有效行程700mm。
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