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高精度定位平台
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LED灯芯检测平台，采用被动隔振，具有超高的稳定性;应用于LED灯芯检测等工业领域中。
X轴、Y轴重复定位精度为±1um;定位精度为 +/- (3+L/500) um、±10um，行程为1890mm、1500mm。
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