高精度定位平台

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七轴LDI激光直写平台

作者: 合益科技 发布时间: 浏览数量: 383
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产品特点

  •   七轴LDI激光直写平台,选用高精度光栅位置反馈,采用无铁芯直线电机直驱控制。主要应用在半导体生产线、微电子生产、LCD显示、线路板生产等工业项目中。

  •   X轴、Y轴重复定位精度为±1.5um,定位精度为±2.5um,偏摆角小于5arcsec,X轴有效行程为1100mm,Y轴有效行程为900mm。



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