高精度定位平台

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精密定位平台

作者: 合益科技 发布时间: 浏览数量: 200
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产品特点

  • 　　XY一体式精密定位平台,应用于晶圆切割，特点是采用伪双驱的方式，使用一个驱动器控制两台电机同时运动，对电机的同一性及结构性要求较高。

  • 　　X、Y轴重复定位精度为±1.1um、±1um，定位精度为±2.5um、±2um，双Y轴行程为400mm、X轴行程300mm，负载为10kg、


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