安全门开关
槽型传感器
光电传感器
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激光雷达
高精度定位平台
有铁芯HL1系列
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有铁芯HL8系列
无铁芯HLU系列
直线电机模组
轴向磁场DD马达
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XY晶圆划片平台，主要应用于硅晶圆开槽、晶圆检测、激光加工等工业领域中
X轴、Y轴重复定位精度为±0.6um,定位精度为±1um;X轴有效行程为400mm，Y轴有效行程为600mm。
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