安全门开关
槽型传感器
光电传感器
接近传感器
光幕传感器
光纤传感器
激光雷达
高精度定位平台
有铁芯HL1系列
有铁芯HL2系列
有铁芯HL3系列
有铁芯HL3A系列
有铁芯HL8系列
无铁芯HLU系列
直线电机模组
轴向磁场DD马达
电话:+8651266090818
传真:+8651266090618
邮箱:office@hoyeer.com
网址:www.hoyeer.com
地址:江苏省苏州市工业园区方泾路10号裕大盛博科技园1号楼
气浮激光直写平台,采用非接触式高精度光栅尺，采用气浮和钢轨的结合，无铁芯直线电机直驱控制，无齿槽效应。主要应用在半导体生产线、微电子生产、LCD显示、线路板生产、PCB产品等工业领域。
X轴Y轴重复定位精度为±0.25um， 定位精度±0.5um，偏摆角1 arcsec，X轴有效行程为150mm，Y轴有效行程为1100mm。
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